nXDS干式渦旋真空泵特點(diǎn)10i/15i/20i
nXDS干式渦旋泵常用的三款型號(hào):nXDS10i、nXDS15i、nXDS20i、具備出色的抽氣能力,極限真空性能和的設(shè)計(jì)特
性,性能居同類產(chǎn)品
產(chǎn)品特點(diǎn):
溫控風(fēng)扇:可以在低負(fù)載條件下降低風(fēng)扇轉(zhuǎn)速,從而使最小噪聲降至僅52dB(A).
軸承罩:可確保將制程氣體與軸承潤(rùn)滑劑相分離,以確保清潔的真空環(huán)境,并避免制程氣體中的污染物進(jìn)入
潤(rùn)滑劑中,從而延長(zhǎng)軸承的使用壽命。
變頻器驅(qū)動(dòng):全球范圍內(nèi)泵性能*相同,易于控制、功耗降低和自動(dòng)電壓調(diào)整特性,從而有助于打造用戶
體驗(yàn)。
優(yōu)化渦盤設(shè)計(jì):轉(zhuǎn)速提高,真空提高一個(gè)數(shù)量級(jí),壓力僅為7*10-3mbar。
優(yōu)化端面密封技術(shù):使用壽命發(fā)生顯著變化,就大多數(shù)應(yīng)用而言,典型的端面密封條使用壽命達(dá)到2年以上。